Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) A8000, оснащенный электронной пушкой с термополевым катодом типа Шоттки (Schottky FEG), является универсальным высокоразрешающим микроскопом для широкого круга исследуемых материалов. В электронно-оптической колонне микроскопа используется технология ускорительной трубки для уменьшения аберраций и обеспечения высокого пространственного разрешения в том числе и при очень малых ускоряющих напряжениях, что важно при работе с диэлектрическими и чувствительными к электронному облучению материалами.
A8000 в базовой конфигурации укомплектован двумя детекторами вторичных электронов: классическим детектором Эверхарта-Торнли (ETD SED), а также внутрилинзовым детектором вторичных электронов (InLens SED), установленным на оптической оси электронной колонны микроскопа. Дополнительно на микроскоп могут быть установлены твердотельные полупроводниковые детекторы обратно-рассеянных электронов (BSE) и детектор для режима сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM). Возможность детектирования различных электронных сигналов позволяет получать как данные о морфологии поверхности образца, так и информацию о его внутренней структуре. Кроме того микроскоп опционально может быть оснащен аналитическими приставками для анализа химического элементного состава и кристаллографии, исследования оптических и электрических свойств, проведения механических и температурных испытаний.
Совершенная система детектирования:
- Одновременный сбор сигнала от двух типов детекторов вторичных электронов (SE), обратно-рассеянных электронов (BSE), и детектора сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM).
- Одновременное отображение морфологии и материального контраста для наиболее полного и всестороннего исследования формы поверхности и структуры образца.
Интуитивный и дружественный интерфейс пользователя:
- Ясное и не перегруженное расположение элементов управления.
- Множество интерлоков для безопасного управления микроскопом.
- Эргономичная работа с клавиатурой.
- Простое управление, доступное как новичкам, так и экспертам в микроскопии.
Мощная и универсальная аналитическая платформа:
- Модульный дизайн и масштабируемая архитектура, позволяют проводить дооснащение микроскопа в течение всего срока эксплуатации.
- Специальные решения от сторонних поставщиков аналитического оборудования доступны по запросу пользователя.
- Множество портов и интерфейсов для подключения различных дополнительных приставок, таких как: EDS, EBSD, WDS, CL, испытательных столиков, и прочего оборудования
Примеры:
