ИК-Фурье спектрометр ФСМ1201П

Специализированный ИК-Фурье спектрометр ФСМ1201П

представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального Фурье-спектрометра ФСМ1201.
Он снабжён двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Основные контролируемые параметры:

• Концентрация междоузельного кислорода;
• Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+;
• Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС.

Особенности:

• Высокая чувствительность.
• Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.
• Высокая производительность.
• Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 сек. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.
• Достоверность анализа.
• Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра.
• Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.
• Бесконтактность измерений.
• В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.
• Автоматизация измерений.